CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)

CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)是一種整合生產技術，先將半導體晶片透過Chip on Wafer(CoW)的封裝製程連接至矽晶圓，再把此CoW晶片與基板連結，整合而成CoW-on-Substrate。

 

CoWoS是台積電致力發展2.5D/3D IC一條龍製程，公司要提供全套服務，包括下游封裝測試。整套流程包括，整合晶圓鍵合(Wafer Bonding)、薄晶圓(Wafer Thinning)、晶片基板鍵合(Chip on Substrate)及晶片封測等技術，將各種邏輯和記憶體晶片精準疊合。

CoWoS架構


資料來源：台積電、SemiWiki

 

2012年10月，台積電CoWoS測試晶片成功地整合Wide I/O介面將邏輯系統單晶片與動態隨機存取記憶體結合於單一模組，在晶片成品製造完成之前，公司的CoWoSTM技術透過將晶片堆疊於晶圓之上(Chip on Wafer)的封裝技術，提供客戶前端晶圓製造服務，藉由搭配Wide I/O行動動態隨機存取記憶體介面，使這顆整合晶片可提供優化的系統效能，更小的產品外觀尺寸，並且明顯改善晶片之間的傳輸頻寬。