OHT空中走型式無人搬運車

OHT空中走型式無人搬運車(Overhead Hoist Transport, OHT)

是一種專門用於半導體製造工廠的自動化物料搬運系統。這種系統的主要功能是透過懸掛在天花板上的軌道，將晶圓盒或其他半導體製造所需的物料從一個製程設備運送到另一個設備。OHT系統的設計旨在提高生產效率、減少人力需求以及降低生產過程中的污染風險。

 

OHT系統與傳統的地面搬運系統不同，是利用空中軌道來進行物料的搬運，這種設計不僅節省了地面空間，還能避免地面交通的擁擠和潛在的碰撞風險。OHT系統通常由多個自動化小車組成，這些小車能夠在軌道上自動行駛，並精確地將物料運送到指定的位置。

 

在半導體製造過程中，OHT系統的應用非常廣泛。由於半導體製造對環境的潔淨度要求極高，OHT系統能夠有效地減少人員進出無塵室的次數，從而降低污染的風險。此外，OHT系統的自動化特性使其能夠全天候運行，這對於需要不間斷生產的半導體工廠來說尤為重要。