《DJ在線》台積電今年再買逾15台EUV，供應鏈沾光
MoneyDJ新聞 2021-01-20 10:42:01 記者 王怡茹 報導  進入後摩爾時代，極紫外光(EUV)微影成為推動先進製程向前邁進的關鍵技術，目前包括台積電(2330)、三星(Samsung)、英特爾(intel)等大廠也積極導入EUV。據供應鏈消息，2021年ASML(艾司摩爾)EUV設備出貨量從40台起跳，其中台積電包下至少15台、上看20台，穩居最大客戶；法人看好ASML供應鏈的帆宣(6196)、家登(3680)、公準(3178)等有望持續受惠。
根據摩爾定律，積體電路(IC)上可容納的電晶體數目，大約每18-24個月就會增加1倍，性能也將提升一倍，成本則下降一半。從物理定律來看，電晶體的微縮不可能永無止盡，市場質疑摩爾定律將無法延續；而EUV技術可以減少晶片生產步驟及光罩層數，達到降低成本的好處，因此被視為發展先進製程的重要技術。
台積電從7+製程開始導入EUV技術，跨入新一製程世代，每片晶圓所採用的EUV光罩層數也越來越多。業內分析，台積7+大約需要2~4層EUV光罩層、5奈米約12~14層，3奈米更需要到24層，可見EUV的重要性；而3奈米也拍板non-Pellicle(無光罩保護膜)，不僅更環保，也能讓EUV生產力(Productivity)發揮到極致。
台積5奈米已在南科順利量產，而3奈米的生產基地也在南科，台南可說是EUV重鎮，據悉，目前南科的EUV機台就多達20幾台，由於3奈米新廠將於今夏開始進機，未來將一舉突破30台。再者，Intel、三星也積極布建EUV產能，加上SK海力士等記憶體大廠相繼導入EUV，均將支撐EUV的未來需求。
現在市場已知的EUV供應鏈，包括光罩盒供應商家登、EUV設備模組代工廠帆宣、零組件供應商公準等。其中，帆宣目前在手訂單約243億元，訂單年見度直透年底，法人看好今年營收可望雙位數成長，整體營運表現將再締新猷。
看好半導體需求前景，家登規劃在土城新建廠區，最快2022年底完工，整體產能將較目前提升超過一倍，同時也積極開發晶圓載具新品，並布局航太新事業，有望為公司長期發展增添動能。法人預估，今年家登EUV光罩盒出貨量有望較去年倍增，全年營收拚優於去年成績、續創新高。
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